전력변환시스템

01. 위상제어시스템

반도체 소재분야에 사용되는 전기로의 온도를 정밀하게 제어하기 위한 전력변환장치로서,전력제어의 정밀도,연속운전의 신뢰성,반도체분야 공정 레시피에 최적화된 운전시퀀스를 구현하였습니다.
국내뿐만 아니라 계통전력의 품질이 상대적으로 불안정한 해외에서도 상용운전을 실시하여 성능 및 신뢰성을 검증받은 제품입니다.
전기로뿐만 아니라 전압/대전류 전력제어분야에 다양하게 활용 가능한 시스템 입니다.
(50V, 2,000A, 2ch)

01. 위상제어시스템

반도체 소재분야에 사용되는 전기로의 온도를 정밀하게 제어하기 위한 전력변환장치로서,전력제어의 정밀도,연속운전의 신뢰성,반도체분야 공정 레시피에 최적화된 운전시퀀스를 구현하였습니다.
국내뿐만 아니라 계통전력의 품질이 상대적으로 불안정한 해외에서도 상용운전을 실시하여 성능 및 신뢰성을 검증받은 제품입니다.
전기로뿐만 아니라 전압/대전류 전력제어분야에 다양하게 활용 가능한 시스템 입니다.
(50V, 2,000A, 2ch)

02. 반도체장비용 전원공급장치

반도체의 생산공정 중 세척공정을 포함한 다양한 공정에 적용 가능한 다채널 전력변환장치로서, 각각 독립적으로 정밀제어되는 500W급 36채널 전원공급장치를 다수의 제조업체 생산라인에 실투입하여 그 제어특성 및 공정평가를 완료한 제품입니다.

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